Reference number: MLA-MLI
Les sources lasers excimères, modernes et compactes, modèle MLI de chez M-Lase sont des sources de lumière UV à 193 nm ou 248 nm avec des énergies d'impulsion élevées jusqu'à 16 mJ et des taux de répétition jusqu'à 1 000 Hz !
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Notre équipe
Description
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Caractéristiques: |
Avantages Client: |
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• Conception rigide de qualité industrielle |
Grande fiabilité |
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• Préionisation Corona |
Profil de faisceau homogène |
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• Module de puissance pulsé à semi-conducteurs moderne |
Puissance immédiatement disponible, pas de vieillissement |
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• Technologie de cavité avec une capacité de gaz plus élevée |
Cavité scellée-métallique pour une durée de vie prolongée |
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• Contrôleur d'énergie interne |
Stabilité d'énergie |
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• Source compacte, fonctionnement en monophasée |
Facile à utiliser, facile à intégrer |
Ces lasers UV autonomes et compacts offrent les meilleures durées de vie et fiabilité disponibles sur le marché. Avec un profil de faisceau homogène et une stabilisation énergétique, ils sont idéaux pour les applications exigeantes. Une connexion simple via USB et un contrôle avec le logiciel inclus permettent une configuration rapide et une intégration facile.
Des versions OEM personnalisées avec des fonctionnalités individuelles basées sur les produits standard peuvent également être proposées. Les intégrateurs bénéficient d’interfaces standardisées et d’une solide équipe d’assistance locale.
Les modèles MLI avec le suffixe « LC » ont également la possibilité d'un refroidissement actif par eau (soit via de l'eau domestique, soit via un échangeur de chaleur externe, aucune eau DI requise) et permettent ainsi un fonctionnement continu stable à un cycle de service de 100 %.
Les longueurs d'onde disponibles sont 193 nm (gaz : ArF - Argonflourid) et 248 nm (gaz : KrF - Kryptonflourid). D'autres longueurs d'onde sont disponibles sur demande.
Veuillez consulter Laser 2000 pour obtenir de l'aide dans la planification et la mise en place d'un système approprié pour l'approvisionnement en gaz laser.
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Caractéristiques: |
ArF |
KrF |
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Longueur d'onde (nm) |
193 |
248 |
||||
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Taux de répétition max. (Hz) |
200 |
500 |
1000 |
200 |
500 |
1000 |
|
Puissance moyenne (W) |
1,2 |
3,0 |
6,0 |
2,0 |
5,0 |
10 |
|
Energie par impulsion (mJ) |
6 |
10 |
||||
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Stabilité d'énergie (sigma, %) |
2 |
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|
Dimension du faisceau (à FWHM, V x H, mm) |
6x3 |
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|
Divergence du faisceau (à FWHM, V x H, mrad) |
2x1 |
|||||
|
Durée d'impulsion (à FWHM, ns) |
5-10 |
|||||
|
Environnement: |
MLI |
MLI-LC |
|
Dimensions (L x B x H) |
560 x 315 x 445 mm³ |
560 x 355 x 445 mm² |
|
Poids |
ca. 75 kg |
ca. 80 kg |
|
Refroidissement |
Air forcé (interne) |
Eau (via refroidisseur externe) |
|
Alimentation |
230V, 50/60Hz, 2000W max. |
230V, 50/60Hz, 2000W max. |
| Durée de vie: | MLase | comparée à la concurrence |
| Durée de vie dynamique (stab. à 4 mJ) | 50 ~ 100 Mio de tirs | ~ 20 Mio |
| Durée de vie statique (passive) | 2~3 mois | ~ 1~2 semaines |
| Optiques de la cavité | > 500 Mio | < 500 Mio |
| Cavité laser | > 4 Giga | ~ 1 Giga |
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